צינגהואַ אוניווערסיטעט: אַ נייַע מעטאָד פֿאַר היגע ייבערפלאַך פאָרעם טעות און קוואַליטעט אפשאצונג פון אָפּטיש עלעמענטן

די אַנטוויקלונג פון הויך פאָרשטעלונג אָפּטיש ימידזשינג סיסטעם קאָווערס די סטעפּס פון אָפּטיש פּלאַן, מאַנופאַקטורינג, דורכקוק, פֿאַרזאַמלונג און אַדזשאַסטמאַנט.דער פּלאַן פון אָפּטיש סיסטעם איז דער אָנהייב פון דער גאנצער פּראָצעס קייט פון ריאַלייזינג אָפּטיש סיסטעם.טאָלעראַנץ אַנאַליסיס איז דער שליסל בריק צווישן פּלאַן און מאַנופאַקטורינג.גלייַך און פּינטלעך פאַרשפּרייטונג פון מאַנופאַקטורינג ערראָרס פון אַלע אָפּטיש סערפאַסיז איז קאַנדוסיוו צו די מעקייַעם פון הויך-פּינטלעכקייַט אָפּטיש עלעמענט מאַנופאַקטורינג.די קוואַליטעט אפשאצונג פון אָפּטיש עלעמענטן וועט מאַכן אַ פּינטלעך אפשאצונג פון די מאַנופאַקטורינג רעזולטאַטן, וואָס וועט העלפֿן צו פֿאַרבעסערן די קוואַליטעט פון אָפּטיש עלעמענט מאַנופאַקטורינג.

פיגורע 1. לאקאלע ייבערפלאַך פאָרעם טעות און אפשאצונג

די מערסט עפעקטיוו טאָלעראַנץ אַנאַליסיס אופֿן וואָס איז קאַנסידערד פֿאַר מער ווי אַ האַלב יאָרהונדערט איז באזירט אויף מאָנטע קאַרלאָ מאַשמאָעס סטאַטיסטיק.דעם טאָלעראַנץ איז אַ יונאַפייד באַשרייַבונג פון די גאנצע ייבערפלאַך פאָרעם.עס ספּעציפיצירט די מאַקסימום RMS ווערט אָדער פּוו ווערט פון די ייבערפלאַך פאָרעם טעות.אין דער זעלביקער צייט, די קוואַליטעט פון אָפּטיש עלעמענטן איז אויך קעראַקטערייזד דורך רמס ווערט אָדער פּוו ווערט פון ייבערפלאַך טעות.אָבער, די פאַקטיש סיטואַציע פון ​​די אָפּטיש סיסטעם איז גאָר קאָמפּליצירט.די יגזיסטינג טאָלעראַנץ אַנאַליסיס מעטהאָדס באזירט אויף מאַנטי קאַרלאָ קענען נישט געבן פאַרשידענע טאָלעראַנץ רעקווירעמענץ פֿאַר פאַרשידענע געביטן פון די ייבערפלאַך.די RMS ווערט אָדער פּוו ווערט פון די ייבערפלאַך פאָרעם טעות קענען נישט אַקיעראַטלי אָפּשאַצן די קוואַליטעט פון אָפּטיש עלעמענטן.

נאָך זיבן יאָר פון השתדלות, Zhu Jun, אַ מיטאַרבעטער פּראָפעסאָר פון די דעפּאַרטמענט פון פּרעסיסיאָן ינסטראַמאַנץ פון צינגהואַ אוניווערסיטעט, באשטעטיקט אַז פאַרשידענע געביטן פון אָפּטיש עלעמענטן האָבן פאַרשידענע טאָלעראַנץ רעקווירעמענץ, און פארגעלייגט אַ היגע ייבערפלאַך טאָלעראַנץ מאָדעל פֿאַר אָפּטיש סערפאַסיז.די היגע טאָלעראַנץ מאָדעל קענען אַקיעראַטלי באַקומען פאַרשידענע טאָלעראַנץ רעקווירעמענץ פֿאַר פאַרשידענע געביטן אויף די ייבערפלאַך, אַזוי אַז פאַרשידענע געביטן פון די ייבערפלאַך קענען זיין מאַניאַפאַקטשערד לויט צו פאַרשידענע אַקיעראַסי באדערפענישן.די היגע טאָלעראַנץ מאָדעל סאַבווערץ די גלאבאלע טאָלעראַנץ אַנאַליסיס טעאָריע באזירט אויף מאַנטי קאַרלאָ סטאַטיסטיש מאַשמאָעס פֿאַר מער ווי 50 יאָר.די פאָרשונג מאַנשאַפֿט קאַלקיאַלייטיד די היגע ייבערפלאַך טאָלעראַנץ פון דריי מירערז פון אַן אַוועק-אַקס דריי שפּיגל אָפּטיש סיסטעם (פיגורע 1) און צוויי מירערז פון אַ קאַססעגראַין טיפּ סיסטעם (פיגורע 2), און סימיאַלייטיד און וועראַפייד די טאָלעראַנץ.דער רעזולטאַט פון טאָלעראַנץ כעזשבן ווייזט קלאָר ווי דער טאָג לאָוקאַלאַזיישאַן.

פיגורע 2. אין די אַוועק-אַקס דרייַיק שפּיגל סיסטעם, די היגע ייבערפלאַך טאָלעראַנץ פאַרשפּרייטונג פון די דריי מירערז (אַ), (ב) און (C) זענען די דיווייישאַן פאַרשפּרייטונג אויף די ייבערפלאַך פון די דריי מירערז ריספּעקטיוולי.

פיגורע 3. אין די רק סיסטעם, פונאַנדערקלייַבן די היגע פּראָפיל טאָלעראַנץ פאַרשפּרייטונג פון די ערשטיק שפּיגל און צווייטיק שפּיגל סיימאַלטייניאַסלי (אַ), (ב), (C) זענען די פּראָפיל דיווייישאַן פאַרשפּרייטונג פון די ערשטיק שפּיגל, און (ד), (E) ), און (f) זענען די פּראָפיל דיווייישאַן פאַרשפּרייטונג פון די צווייטיק שפּיגל, ריספּעקטיוולי

אין דער זעלביקער צייט, די פאָרשונג מאַנשאַפֿט פארגעלייגט אַ פּינטלעך עוואַלואַטיאָן פונקציע RWE פֿאַר די קוואַליטעט פון אָפּטיש עלעמענטן וואָס איז גלייַך שייַכות צו די ימידזשינג פאָרשטעלונג, ריפּלייסינג די טראדיציאנעלן RMS אָדער PV וואַלועס צו אָפּשאַצן די קוואַליטעט פון אָפּטיש עלעמענטן, און עוואַלואַטעד די קוואַליטעט פון אַ סעריע פון ​​עלעמענטן מיט פאַרשידענע ייבערפלאַך ערראָרס (פיגורע 3).די רעזולטאַטן ווייַזן אַז די קוואַליטעט פון קאַמפּאָונאַנץ מיט דער זעלביקער PV אָדער RMS ווערט איז אַנדערש, און די קאַמפּאָונאַנץ מיט נידעריקער דזשיאַמעטריק אַקיעראַסי קען פּראָדוצירן בעסער ימידזשינג קוואַליטעט ווי יענע מיט העכער דזשיאַמעטריק אַקיעראַסי.

די זעלבע אָפּטיש עלעמענטן פון RMS קענען אויך ויסטיילן זייער ימידזשינג קוואַליטעט דורך RWE.פֿאַר די מאַנופאַקטורינג דורכקוק פּאַרטיי, די קוואַליטעט פון קאַמפּאָונאַנץ נאָך מאַנופאַקטורינג קענען זיין ינדיפּענדאַנטלי עוואַלואַטעד אָן פּלאַן דאָקומענטן.RWE העלפּס צו געשווינד אויסקלייַבן די קאַמפּאָונאַנץ וואָס טרעפן די ימאַגינג רעקווירעמענץ, און גיט די בעסטער ריכטן קאָמבינאַציע צווישן פאַרשידענע קאַמפּאָונאַנץ.פיגורע 4. די קוואַליטעט פון קאַמפּאָונאַנץ מיט דער זעלביקער פּוו אָדער רמס ווערט איז אַנדערש

די לאקאלע טאָלעראַנץ פריימווערק פארגעלייגט אין דעם לערנען וועט צושטעלן נייַע טעכניש שטיצן פֿאַר די מאַנופאַקטורינג פון אָפּטיש סיסטעמען, ספּעציעל הויך-פּינטלעכקייַט און גרויס עפענונג אָפּטיש סיסטעמען אַזאַ ווי ליטהאָגראַפי סיסטעמען און פּלאַץ טעלאַסקאָופּס, און וועט האָבן אַ רעוואלוציאנער פּראַל אויף די טעאָריע, טעכנאָלאָגיע און סטאַנדאַרדס. אין די פעלד פון אָפּטיש פּלאַן און מאַנופאַקטורינג.אויף 8 סעפטעמבער, די אויבן דערגרייכונגען זענען ארויס אין דער זשורנאַל OPTICA אונטער דעם טיטל פון "לאקאלע ייבערפלאַך טעות און קוואַליטעט אפשאצונג פֿאַר אָפּטיש סערפאַסיז".